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什么是椭圆偏振光膜厚测量仪?有何作用?

作者:上海全耀仪器设备有限公司  上传日期:2016年04月14日    浏览次数:

  椭圆偏振光膜厚测量仪可能大家对此不是很熟悉,但将其拆分开来看,也就不会太陌生了,简单来说这是测量设备的一种,只不过这种设备测量方式采用的是偏振光发射测量,利用光学性质获得被测物的厚度值。为让大家进一步认识该类型的测量仪,本文从以下几点为大家介绍一下。

  椭圆偏振光膜厚测量仪工作原理:

  以上也有提及过,在对被测物进行厚度测量,主要是采用光学性质,通过偏振光发射实现厚度上面的测量,确实这仅仅是大概思路,在实际测量中要做到的远远不止这些。具体工作原理是在起偏器运行时,通过线偏振光径的变化将其转化成椭圆型的偏振光,为获取被测物厚度值,需要将椭圆形的偏振光投射到被测物上面,在此基础上利用起偏器产生透光反应,如此被测物表面便会产生线偏振光,接收器根据线偏振光的变化,将变化的数据收集起来,从而得到振幅值和相位上的变化最后通过光电探测获得被测物的厚度值。

  椭圆偏振光膜厚测量仪应用:

  这种利用椭圆偏振光实现物体厚度测量的膜厚测量仪因为整个操作比较简单,可以独立使用,同时也可以依附式使用,可选性强,因为这些原因,使得膜厚测量仪被广泛使用在各行各业中,比如工农制造、化工生产、物料加工、自动化生产线等等;

  椭圆偏振光膜厚测量仪测量精确度影响因素:

  1、操作方式不正确,导致设备测量精确值有误差,正确的操作方式是首先操作起偏器、然后是补偿器接下来是将被测物放在测量仪上面;

  2、膜厚测量仪机位调整不合理,导致相位出错;

  3、入射光和反射光之间形成的发射系数不合理,导致发射偏振光线出现角度偏差;

  什么是椭圆偏振光膜厚测量仪?以上内容针对这个问题做出了简单介绍,不仅是工作原理上,还是实际应用上,还是影响测量值精准值的相关要素本文内容都做了相关介绍,更多信息各位可以进一步咨询上海全耀。

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