触摸屏上ITO薄膜厚度的测量

　　使用MProbe系列薄膜测厚仪可以很容易的测量玻璃基底上的ITO薄膜厚度，但是如何测量触摸屏上多层薄膜中的ITO层厚度?

　　MProbe UVVisSR用来测量触摸屏上ITO层的厚度，膜层结构为ITO/0.2um glass/RGB filter/LC layer/0.2um glass

　　从测量得到的反射光谱曲线(图1)可以看出，在短波长范围内，ITO层的影响很明显，而在可见光和近红外波段表现为LCD结构。

图1. 测量得到的LCD带ITO层(蓝色)和LCD没有ITO层(蓝色)的反射光谱曲线，LCD下层薄膜的影响相对较小(可见光和近红外部分)，可以把它们看作一层，分析ITO层薄膜厚度时，我们可以单层模型：ITO/glass/void。

图2. 近红外(700-1000nm)部分反射光谱，使用MProbe VisNR测量

图3. 将测量得到的反射光谱曲线与模型曲线进行拟合，ITO层厚度的计算结果为17nm。

图4. 使用快速傅立叶变换算法分析图2的数据，计算LCD结构的厚度，glass厚度：200um，RGB filter厚度：1um，LC层厚度8um。